LEC坩堝
液封直拉法(LEC)技術可生長適用于直接離子注入的高純非摻雜半絕緣單晶或多晶等。
主要特點:
1.我公司可制作大規格坩堝(最大直徑12inch,最大高度17inch)
2.純度高(>99.99%);
3. 1500℃下,a方向的熱導率是c方向的20倍以上,有利于形成單晶生長所需的溫度梯度。
產品應用
用于LEC法合成GaAs、InP、GaP等半導體單晶及其他Ⅲ-Ⅴ族化合物單晶。
主要特點:
1.我公司可制作大規格坩堝(最大直徑12inch,最大高度17inch)
2.純度高(>99.99%);
3. 1500℃下,a方向的熱導率是c方向的20倍以上,有利于形成單晶生長所需的溫度梯度。
產品應用
用于LEC法合成GaAs、InP、GaP等半導體單晶及其他Ⅲ-Ⅴ族化合物單晶。
PBN性能參數表
Properties(屬性) | Units(單位) | Values(數值) |
Density(密度) | g/cm3 | 1.95-2.20 |
Tensile Strength(抗拉強度) | MPa | 112 |
Bending Strength(彎曲強度) | MPa | 173 |
Compression Strength(壓縮強度) | MPa | 154 |
Young's Modulus(楊氏模量) | GPa | 18 |
Thermal Conductivity(導熱系數) | W/m°C | "a" 60 "c" 2 |
Specific Heat(比熱) | J/g·℃ | 0.90(RT) |
Resistivity(電阻率) | Ω.cm | 2×1015 |
Dielectric Strength(介電強度) | D.C. volts/mm | 2x1015 |
Dielectric Constant(介電常數) | "c" 3.07 | |
Metal Impurity Content(金屬雜質含量) | ppm | <10 |